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随着技术的不断进步，精密制造领域对材料表面的处理要求越来越高，超精密抛光技术作为当下表面处理的尖端技术，对各种高精密产品的生产起到了至关重要的作用，已广泛应用于集成电路制造、医疗器械、航空航天、3C电子、汽车、精密模具等多个先进制造行业。
光学3D表面轮廓仪通过纳米传动与扫描技术、白光干涉与高精度3D重建技术实现0.1nm级表面粗糙度测量，成为超精密抛光技术研究领域的重要工具和帮手。

光学3D表面轮廓仪助力科研课题研究，服务超精密抛光技术发展
浙江工业大学赵军、吕冰海团队对磨料旋转射流抛光(ARJP)技术，剪切增稠抛光技术等开展深入研究，并利用SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪对抛光后表面粗糙度进行检测验证，多篇论文在国际TOP期刊发布。

《Tribology International》（中科院一区）
Numerical and experimental investigation on the material removal profile during polishing of inner surfaces using an abrasive rotating jet

《Wear》（中科院一区）
Effect of elastohydrodynamic characteristics on surface roughness in cylindrical shear thickening polishing process

《Surface & Coatings Technology》（中科院一区）
Surface polishing and modification of Ti-6Al-4V alloy by shear thickening polishing